划片机刀压由旋钮自由设定,对一种试样,可改变几次设定值试划,便可得到合适的刀压,划片机不是大批量生产用的,而是在使用观察各种半导体硅片、各种玻璃材料等不良部位及试制品合格与否时,为其制作试样用的机器。
精密划片机的多年研发经验,采用细磨粒的刀片,NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能,尤其是在飞集成电路晶圆划片领域当中,是属于绝对般的存在,因此采用金刚石锯片进行划片也是较为常见的方法。
划片机哪里有名品质保障
沈阳新势汇博科技有限公司(简称“新势汇博科技”)是由沈阳仪表科学研究院有限公司与沈阳高新发展投资控股集团有限公司共同出资组建,注册资本2000万元人民币,其中: 沈阳高发投占比51%,沈阳仪表院占比49%。新势汇博科技由原沈阳仪表院汇博IC装备团队原班成员组成,该团队于1982年研发成功国内首台具备自主知识产权的砂轮划片机,2017年研发成功全自动激光划片机。经过多年的发展,形成了以高端精密划切智能装备为基础,并涉及清洗、分选、测试多领域的IC装备自主设计、制造能力。主要产品是6-12寸砂轮划片机,红外、紫外激光划片机及晶圆清洗机、贴膜机等辅助设备的整机装备设计、制造、销售和服务,提供整机装备和相关工艺技术。
芯片划切例如用于LED晶片的分割,形成LED芯粒,划片机以砂轮机械切割为主、激光为辅,划片机目前以砂轮机械切割为主流切割方式,激光是重要补充,激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。
划片机在后道晶圆切割具有不可替代作用,且随产品使用LK材质应用越来越多的趋势下,设备市场规模不断变大,目前晶圆的线宽已经发展到5μm以下,甚至达到1μm左右,晶圆上集成电路的排布愈发密集,对于切割精度的要求大大提升。