砂轮划片机被广泛应用在分立器件芯片、IC、光伏片、氧化铝、压电陶瓷、NTC、PCB、石英、宝石等的切割或开槽,特别是LX6366的旗舰型号的全自动双轴晶圆划片机,全面兼容6~12寸晶圆,双头切割,自动修复法兰,CCD双镜头,重复精度1μm。
划片机采用连续泵浦声光调激光器作为工作光源,由计算机控制二维工作台,能按输入的图形做各种运动,划片机材料还应具有在高温下抗氧化的能力以及良好的抗粘结和抗扩散的能力,即担卫艺材料应具有良好的化学稳定性。
激光划片机收费创新服务
沈阳新势汇博科技有限公司(简称“新势汇博科技”)是由沈阳仪表科学研究院有限公司与沈阳高新发展投资控股集团有限公司共同出资组建,注册资本2000万元人民币,其中: 沈阳高发投占比51%,沈阳仪表院占比49%。新势汇博科技由原沈阳仪表院汇博IC装备团队原班成员组成,该团队于1982年研发成功国内首台具备自主知识产权的砂轮划片机,2017年研发成功全自动激光划片机。经过多年的发展,形成了以高端精密划切智能装备为基础,并涉及清洗、分选、测试多领域的IC装备自主设计、制造能力。主要产品是6-12寸砂轮划片机,红外、紫外激光划片机及晶圆清洗机、贴膜机等辅助设备的整机装备设计、制造、销售和服务,提供整机装备和相关工艺技术。
划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的,划片机搭配大尺寸触碰屏幕,结合图形式操控接口,大大提升人员操作的便利性,配置了物镜镜头防护门,可以降低镜头脏污的机会,减少设备工作时的错误率。
激光划片机目前,因为价格等因素,砂轮划片机仍然占据主流地位,工艺不断发展,对划片机的性能要求也在不断提高,划片机运行时,通过θ轴的旋转和Y轴的直线运动来设定刀具,通过Z轴的直线运动来控制切割深度,通过主轴和X轴的直线进给运动来切割工件。